温度首先应服从工艺要求，当工艺无要求时应考虑人的舒适性要求。工艺要求主要有以下这种恒温要求
温度波动一般< 1℃的算恒温，但温度最大波动范围不大于2°c的也可称恒温， 例如22°C士2°C即表明波动范围最低不得低于20°C，最高不得高于24℃，可以按恒温考虑。有的书中写成22士5°C，这是不了解什么是恒温，允许变化5°C绝不是恒定温度了。
恒温包括室温波动范围，即控制点或参考点的温度或设定的恒温参数在24h内的波动范围；还包括区域温差，即工作区平面内最大两点温度差别。
图5-1是工作区温度波动范围统计曲线，是按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大值占测点总数百分比整理而成的。
图5-2是工作区区域温差统计曲线，是按各测点中最低温度与各点平均温度的偏差点占测点总数百分比整理而成的。
要求90%以上测点所达到的偏差值为波动范围或区域温差，对以上两图有：
室内工艺 室温波动范围/ t： 区域温差/X：
无设备热源 < 士0.4 <士0.3
1.5kW 设备热源 < 士0.5 <士0.4
2.5kW 设备热源 < 士0.5 <士0.4
随着技术的发展，洁净室要求高精度恒温的越来越多，例如用于大规模集成电路生产的硅片，当直径为100mm时，温度上升1°C就会引起0.24/im的线膨胀，所以必须有士 0.1°C的恒温，同时要求温度基数一般较低，因为洁净室内人穿的衣服较严密，容易出汗，汗水中的钠对半导体制品影响大，这种车间不宜超过25°C。
所以在选择空气过滤器进行空气排风及过滤上都要涉及到温度控制的要求，希望这些信息能为您带来一定的帮助！
GMP车间净化
